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          歐陸2604控制器在分子外延(MBE)設備上的應用

          發布時間:2011-05-04 18:58   類型:應用案例   人瀏覽

          歐陸2604控制器在分子外延(MBE)設備上的應用

          設備現狀用改造方案簡述:
               原美國MBE設備中的溫控表型號為歐陸的905D,由于該型號的表歐陸公司已經停產,而且維修費用較高甚至不能維修;所以此方案考慮用歐陸的2604完全替換原905D,用一臺新的計算機替換原計算機,在新計算機上安裝Windows2000操作系統,在新計算機上實現原905D的溫度控制編程功能。改造后還可保留原設備,以備在新設備出現問題時還可用原來的設備完全替換。
          1. 改造工程包括以下各項:
          1.1 用歐陸2604替換原905D溫控表,共6塊,每塊2604帶雙回路PID控制。
          1.2 增加一臺工業計算機,用于對新增加溫控表2604的溫度控制和原系統中7路擋板的控制。
          1.3 對原905D溫控表控制盒進行改裝,完成新老表的更換,增加必要通訊連接器,完成新2604溫度控制系統的要求并對適應新上位系統的通訊要求。
          1.4 在2604上進行組態設置,實現溫控回路的控制,實現對應聯鎖動作的控制,保持原系統的保護要求。
          1.5  真空度的interlock進每個2604的DI板,每個溫控回路在interlock動作時進行強制125℃的給定。
          1.6 對原擋板控制盒進行改裝,必要時新舊系統能進行切換操作。
          1.7 對各新加溫控表和新加工控機進行網絡聯結,實現現場總線控制。
          1.8 在新增工控機上進行組態編程,實現對2604的自動及手動操作,實現對各擋板的手自動操作。
          1.9 完成必要的電氣線路改造,適應新的系統要求。
          2. 改造后實現功能
          2.1 由2604代替原905D,實現溫度控制。
          2.2 在新工控機上代替原計算機完成順序控制程序的輸入。
          2.3 程序控制功能和原有功能相同,編程界面和簡便性與原有編程界面相當。
          2.4 擋板控制及動作聯鎖在工控機上實現。
          2.5 真空聯鎖信號既進2604做聯鎖也進工控機做擋板動作的聯鎖。
          2.6 在上位機里對每塊2604進行通訊狀態檢查,如果通訊失敗在上位做報警。
          2.7 對2604的每個溫度做歷史記錄查詢功能。
           





















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