MEMS在氣體傳感器中的優勢及應用
MEMS傳感器在我們的生活中應用已經非常廣泛,大到汽車,小到手機、可穿戴手環,以及無人機監測等都使用了大量的MEMS傳感器,因此業內人士也非??春肕EMS的發展前景。
首先先來解釋什么是MEMS。Microelectromechanical Systems, 這個讓老美念起來都繞口的詞,中文叫做“微機械機電系統”。
隨著智能手機等電子產品集成的功能越來越多,不同功能的芯片集成到一起更能縮小體積,有利于產品設計
【使用MEMS技術的好處】
· 原材料價格低廉,產量充足。
大部分集成電路和MEMS的原材料是硅(Si),這個神奇的VI族元素可以從二氧化硅中大量提取出來。而二氧化硅是什么?說的通俗一點,就是沙子。沙子君在經歷了一系列復雜的加工過程之后,就變成了單晶硅,長這個樣子:
MEMS驅動器和傳感器大部分都含有微機械機構。試想一下,我們要檢測一個一微米長的彈簧移動了一納米(微米尺度的懸臂梁在納米尺度的范圍內移動),這種加工精度在傳統機械加工工藝上面是難以實現的。正因為有了MEMS技術,現在我們可以使數以萬計的MEMS芯片(有些工藝也會把集成電路芯片放在同一步驟加工)出現在了每一片wafer上面,如下圖所示
隔離人為因素,確保了每一個MEMS芯片之間的工藝誤差可以得到嚴格的控制,從而提高了良品率。切片、封裝之后,就成為了一個個的MEMS芯片。從外觀上來看,大部分的MEMS芯片和集成電路芯片是差不多的。
MEMS現在應用廣泛、發展前景較好,但是它的可靠性和精度并不能達到某些傳統工藝的標準,但是前途也是不可限量的。
MEMS氣體傳感器應用廣泛:
汽車系統
汽車集成輔件等需要檢測,等新能源氣體傳感器中,需要用到MEMS傳感器及模組。
智能手機
三星手機為例,三星S7在9軸組合、氣體傳感器、自動變焦、微型揚聲器、觸摸屏、紅外線傳感器、紫外線傳感器等方面有用到傳感器。
環境監測
凈化口罩
適用范圍包括對流量壓、溫度、濕度、顆粒物、硫化物、碳化物、酒精目標感知及對傳輸、感知的多功能集成等。
醫療設備
適用范圍包括可穿戴設備中對體溫、血壓、心電、腦電、血糖的檢測,對溫度、氣壓、濕度的環境感知;可植入設備中對心壓、眼壓、血壓傳感器、起搏器、除顫器、胃液刺激器、人工耳蝸、視網膜的使用等;微創手術中對觸覺、壓力、溫度、位置的應用等。
其他
汽車電子MEMS傳感器的應用移動終端、游戲機、遙控器等設備上,MEMS傳感器可以實現先進的功能。
交通中智能交通、氣體傳感器監測;能源中智能電網、多傳感器數據;化工中安全及生產氣體等。
煒盛科技MEMS產品集合:
消費電子產品的出貨量很大,但是電子元器件的利潤越來越低,煒盛科技在MEMS傳感器的研發向著更高端應用邁進,雖然很多廠商還未大力涉足,但是煒盛科技已經為未來做好了準備,做別人做不了的是贏在未來的強有力法寶。
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