摩擦起電電壓絕對值不應大于200V；靜電半衰期不應大于1s，但軟簾的摩擦起電電壓絕對值 可不大于300V。
一般抹灰墻面或使用水性涂料、天然或人造石材作為表層時，應涂刷具有靜電耗散性能的涂層或做其他防靜電處理。
金屬導體的緊密結合面積不應小于20cm2。防靜電工作區中不得有對絕緣的孤立導體，所有金屬結構件都應可靠接地。
體積電阻 volume resistance 在材料相對兩表面上放置的兩個規定形狀的電極間施加的直流電壓與流過的兩電極間的穩態電流之商。
靜電放電接地系統ESD grounding system 使靜電泄放到大地而配置的接地線分支系統。亦稱ESD接地系統、防靜電接地系統。
本規范屬于工程建設類標準，隨著電子工業的高速發展，對各類特定功能防靜電工作區的標示日益增加，本規范旨在提供一般電子工業建設工程設計中可能設置防靜電工作區的設計控制目標。
防靜電工作區空氣調節系統，當防靜電工作區和其他房間空調參數不同時，宜分別設置空調系統。防靜電工作區的溫度及波動范圍應滿足工藝要求，宜為18℃~28℃。
應根據工藝要求配置防靜電安全工作臺，防靜電分級為一級的微電子制造和測試場所，防靜電安全工作臺使用硬質臺墊及無表面涂覆的難氧化金屬臺架。
這里指的“操作”包括靜電敏感元器件的包裝、運輸、打開包裝、測試、安裝、保養和維修以及與這些操作相關聯的活動。
水泥強度等級不應小于32.5.水泥和石粒的體積比宜采用1:1.5~1:2.5。水磨石地面的導靜電泄放層應采用φ4~φ6的鋼筋網，鋼格的間距宜為2m×2m，并應在網格交叉點陰角處焊接。
2.靜電敏感元器件制造和測試場所：半導體材料制造：拉單晶、磨、拋等工序；太陽能硅片電池制造（擴散、刻蝕、鍍膜、絲網印刷）；STN液晶顯示器制造；硬盤制造除制造區外的其他區；等離子顯示屏（PDP）的支持區；鋰電池制造：干工藝和其他區；彩色顯像管制造：錐石墨涂覆、蔭罩裝配工序；印制板的成像：預制棒、拉絲工序；磁頭生產：清洗區；片式陶瓷電容、片式電阻等制造：絲印、流延工序；聲表面波器件制造：光刻、顯影、鍍膜清洗、劃片、封帽工序。
易爆易爆特定環境的接地尚應符合現行國家標準《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范》GB 50058的有關規定。
附錄A防靜電工作區設計分級標準適用場所
防靜電工作區質量控制要素，采取對應的預防措施，進行系統綜合設計。防靜電工作區設計應選用靜電耗散型導靜電型材料，并應建立可靠的靜電接地系統，同時應控制環境溫濕度。
硬質和軟質防靜電臺墊，其表面電阻和體積電阻范圍應為2.5×104Ω~1.0×109Ω。防靜電安全工作臺應設置腕帶連接裝置。
找平層應符合補充底涂的封底、粘結橋、緩沖找平的要求；面層應采用符合導靜電或靜電耗散性能的樹脂面層涂料。
采用普通的法蘭或螺栓連接，且中間存在非導體隔離時，應采取跨接措施。防靜電工作區的配管系統中，使用部分絕緣性材質的配管時，應在配管表面安裝緊密結合的金屬網。
離子化靜電消除器外殼應采用金屬材質，其外殼及金屬支承體應有可靠的保護接地。
《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范》GB 50058
樹脂涂層自流平地面結構應由基礎地坪、底涂層、找平層、導電層和面層組成。樹脂涂層自流平地面厚度為底涂層、找平層、導電層和面層厚度的總和。
貼面地面的結構宜由基礎地坪、底涂、導電層、面層組成。貼面地面的結構應符合下列規定：基礎地坪應滿足含水率不大于8%，混凝土強度等級不小于C30。
表面電阻 surface resistance 在與材料同一表面上相接觸的兩個規定形狀的電極間施加的直流電壓與流過兩電極間的穩態電流之商。
接地連接導線接地支線應采用截面積不小于1.5mm2的多股塑銅線。室內接地干線在活動地板下敷設時，應與地面絕緣。樹脂層自流平地面應符合規定。
體積電阻率 volume resistivity 沿試樣體積電流方向的直流電場強度與該處的電流面密度之比。
并應將金屬網接地，使用導電性金屬軟管時，應在軟管上安裝與其緊密結合的接觸面積不小于20cm2的金屬導體，并應用接地引線與金屬導體可靠連接接地。
離子化靜電消除器 ionizing static eliminator 利用空氣電離產生為中和帶電體上的表面異性電荷所必需的正負離子的靜電消除裝置的統稱。
網格分布應與水磨石面層的分格條位置錯開，并應與防靜電接地系統連接。水磨石地面的底涂絕緣隔離層宜采用環氧樹脂涂料底漆滿涂兩遍，厚度不宜小于0.1mm。
并應遠離防雷引下線，防靜電接地主干電纜的屏蔽金屬層應兩端接地。防靜電接地連接應采用焊接或用連接器具連接的方式。
2.電子產品生產過程中操作一級靜電敏感元器件的場：硬盤制造（HDD）：制造區；等離子顯示屏（PDP）：核心區；彩色顯像管：表面處理工序；高密磁帶制造；磁頭生產：核心區。
水磨石地面應符合下列規定：水磨石需應由防靜電水磨石面層、導靜電泄放層和絕緣隔離層組成。防靜電水磨石地面面層的厚度宜為12mm~18mm。
本條提出了防靜電工作區設計應采用的主要技術措施，從抑制或減少靜電的產生和有效、安全地泄放靜電兩個方面制定了3條措施。
防靜電工作區的相對濕度及波動范圍應滿足工藝要求，宜為45%~65%。防靜電工作區的氣流組織形成應根據潔凈室空氣潔凈度等級和生產工藝特點的不同要求確定。
防靜電接地系統各個連接部位之間電阻值不應大于0.1Ω。防靜電接地主干電纜應避免與非屏蔽電源長距離平行敷設。
應分別選擇適當位置設置接地連接裝置，接地連接裝置可使用易于裝拆的各種夾式連接器，但應保證電氣連接可靠。
可選用貼面地面、活動地板、涂覆自流平地面、水磨石地面及移動式地墊等。應具有長效和穩定的導靜電性能。
《電離輻射防護與輻射源安全基本標準》GB 18871
《測量、控制和實驗室用電氣設備的安全要求 第一部分：通用要求》GB 4793.1
防靜電工作區設計標準應分為三級，一級標準應為室內控制靜電電位絕對值不大于100V。
靜電感應 electrostatic induction 在靜電場影響下引起物體上的電荷重新分布的現象。
《建筑物電子信息系統防雷技術規范》GB 50343
一、二級防靜電工作區室內隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時，其內表面應粘貼具有靜電耗散性能的透明薄膜。
專用型防靜電安全工作臺宜用于潔凈室工作站。防靜電安全工作臺臺面的防靜電性能指標應符合本規范的規定。
尚應符合現行國家標準《電磁兼容 試驗和測量技術 靜電放電抗擾度試驗》GB/T 17626.2的有關規定。易燃易爆環境以及各種流動液體或氣體、粉體管道安裝。
三級防靜電工作區可選用低起電材料，金屬門窗表面應涂刷具有靜電耗散性能的涂層，并應接地。選用靜電耗散材料貼面的門及窗的外框應有導靜電泄放的接地連接。
活動地板支撐的底部宜設絕緣襯墊。
防靜電接地引線應從防靜電接地端子板、接地網格或閉合銅排環上就近接地，接地引線應使用多股銅線，導線截面積不應小于1.5mm2。
其截面積不應小于95mm2，并應使用絕緣屏蔽電纜或采用絕緣導線穿金屬管敷設。接地主干線引到防靜電工作區時應與設置在該區域內的防靜電接地端子板連接。
防靜電工作電氣設計，供電電源質量分級應按工藝要求執行，防靜電工作區中電子設備宜由變電所或低壓總配電間的專用回路供電。
《工業、科學和醫療（ISM）射頻設備 電磁騷擾特性 限值和測量方法》GB 4824
防靜電安全工作臺 antistatic control worktable 供靜電敏感元器件、組件及設備操作的具有靜電泄放功能的安全工作臺架。
二級標準應為室內控制靜電電位絕對值不大于200V，三級標準應為室內控制靜電電位絕對值不大于1000V。
防靜電材料應有長效型和短效型的區別。長效型防靜電材料其防靜電性能應與材料壽命同步，在使用期限內防靜電性能應保持穩定。
連接器具應能與接地對象可靠地連接，當接地對象采取間接接地時，應在接地對象上裝設緊密結合的可靠的金屬導體，并應在金屬導體上引出接地導線。
或采用透明的防靜電塑料板和具有防靜電性能的玻璃板。防靜電工作區的其他裝修設計應符合規定：各類裝修材料應具有表面靜電耗散性能。
表面平整度不大于2mm的要求；底涂宜滿足封底、粘結橋、絕緣隔離層的要求；導電層應鋪設接地金屬箔帶網格，并用導電粘膠與上鋪面層粘結。
防靜電工作區中由TN交流配電系統供電時應采用TN-S或TN-C-S系統的接地方式。防靜電工作區中應含有不同功能要求的接地系統。
防靜電工作區的確定邊界，可以是建筑的實體介質（如墻、柱、門窗、地面、頂棚等），也可以是空間的界定范圍。
防靜電工作區中空氣調節系統的風管和各種工業管道均應采取接地措施，接地連接點之間的距離不應大于30m，接地連接點的構造應符合設計要求。
軟接地 soft grounding 通過足夠阻抗接地，把電流限制在5mA的人身安全電流以下。
彩色濾光片（C/F）制造；LED芯片制造。
根據不同的環境影響因素、使用要求，進行技術經濟比較，選擇經濟有效的設計方案；根據質量控制要素的要求。
防靜電塑膠地墊可為三層結構，底層應為導電橡膠材料，中間是布，面層應為靜電耗散型塑膠材料。
應具有可靠的靜電泄放接地系統。地面導電層接地引出點不應少于2處，且相鄰間距不應大于25m。
防靜電工作區空氣調節系統配置離子化靜電消除器時，應符合本規范的有關規定。防靜電工作區空氣調節系統的設備對電磁兼容性的要求。
防靜電工作區中空氣調節系統的送、回風口和風管以及各種工業管道的輸出、輸入口裝置，應選用導電材料制作，或表面涂刷防靜電涂層。
靜電放電 （ESD）electrostatic discharge 當帶靜電物體表面的場強超過周圍介質的絕緣擊穿場強時，因介質電離而使帶電體上的電荷部分或全部消失的現象。
絕緣材料應采用表面電阻或體積電阻大于1.0×1012Ω的材料。絕緣材料在防靜電工程中不得作為飾面材料應用。
對地電阻 resistance to earth 在被測物體表面一點對接地連接點或防靜電接地裝置之間的電阻。
表示嚴格，在正常情況下均應這樣做的：正面詞采用“應”，反面詞采用“不應”或“不得”；
從總等電位接地端子板或樓層等電位接地端子板、防靜電接地端子板。從總等電位接地端子板或樓層電位接地端子板上引出的接地主干線。
表示允許稍有選擇，在條件許可時首先應這樣做的：正面詞采用“宜”，反面詞采用“不宜”；
TFT液晶顯示屏制造：陳列板（薄膜、光刻、刻蝕、剝離），成盒（涂復、摩擦、液晶注入、切割、磨邊）、模塊等工序；
低壓配電系統中的單相負荷應均勻分配在三相線路上，應使三相負荷不平衡度小于20%，并應根據負荷實際運行情況可能產生的諧波電流值。
實施方法 同時規定防靜電工作區室內設計的質量標準及適用范圍。電子工業領域建設工程中要求其室內環境控制靜電的場所主要有以下兩類：靜電放電敏感的基礎材料、元器件、組件、儀器和設備的制造和操作場所。
靜電半衰期 electrostatic half-life 外界作用撤除后，帶電體上靜電電壓或靜電電荷下降到其初始值的一半時所需的時間。
靜電 electrostatic 一種處于相對穩定狀態但不是靜止不動的電荷，由它所引起的磁場效應較之電場效應可以忽略不計。可由物質的接觸與分離、介質極化和帶電微粒的附著等物理過程而產生。
當選擇單獨接地方式時，接地電阻值不應大于10Ω，并應與防雷接地裝置保持20m以上的間距。防靜電工作區中整個接地系統的設計應以防雷接地系統設計為基礎。
外界作用撤除后，帶電體上靜電電壓或靜電電荷下降到其初始值的10%時所需時間。
防雷接地系統設計應符合現行國家標準《建筑物防雷設計規范》GB 50057和《建筑物電子信息系統防雷技術規范》
空氣潔凈度等級5級以上的潔凈環境，不宜使用有風扇的離子化靜電消除器，其他潔凈環境的風扇式離子化靜電消除器應具有自清掃功能。
選用高頻高壓型靜電消除器時，電氣間隙和基本絕緣試驗電壓等限值應符合現行國家標準《測量、控制和實驗室用電氣設備的安全要求 第一部分：通用要求》GB 4793.1的有關規定。
一級防靜電工作區的地面和墻面、柱面應選用導靜電材料。導靜電型地面、墻面、柱面應滿足下列技術指標：表面電阻、對地電阻應對1.0×106Ω~1.0×109Ω；
多臺防靜電安全工作臺的接地連線不得串聯連接，離子化靜電消除器的設計選擇，一、二級防靜電工作區配置的設備機臺局部，以及防靜電安全工作臺等對靜電敏感元器件有明確防護要求的場所。
防靜電措施尚應符合現行國家標準《工業金屬管道設計規范》GB 50316的有關規定。
網格大小可為600mm×600mm，當貼面地面為卷材時，網格可為1200mm×1200mm；網格引出銅箔帶應與室內接地干線焊接；
應根據防靜電工作區質量控制要素，采取對應的預防措施，進行系統綜合設計。
應在防靜電安全工作臺上進行，一、二級防靜電工作區及有明確防靜電要求的臺式精密電子設備的三級防靜電工作區。
防靜電腕帶應便于人體佩戴，并應接地。腕帶連接裝置應布置在工位的左、右兩側。防靜電安全工作臺應接地，腕帶連接裝置的下端應采用截面積不小于1.5mm2多股塑銅線與防靜電接地系統連接。
防靜電工作區設計分級標準適用場所可按本規范附錄A確定。電子工業領域的防靜電設計除應符合本規范外，尚應符合國家現行有關標準的規定。
電暈放電 corona discharge 發生電場不均勻的，場強較高的電離放電現象，并伴有藍紫色熒光。
并應有明顯區別標志，防靜電工作區中電氣設備外殼應可靠接地，電氣設備對電磁兼容性的要求尚應符合現行國家標準《電磁兼容試驗和測量技術 靜電放電抗擾度試驗》GB/T 17626.2的相關規定。
二級
1.靜電敏感精密電子儀器的測試和維修場所；
貼面地面應符合下列規定：應合理選擇貼面地面的材質和形式。可選用塑料貼面（塊、磚、卷材）、陶瓷地磚、大理石板等。
防靜電地毯下應敷設接地金屬網，并應可靠接地，頂棚和墻、柱面裝飾有導電層要求時，應制訂合理的導電層方案。
除微電子電路制造和測試以外的電子產品或整機產品的生產或調試場所的防靜電安全工作臺，其臺面可采用軟質臺墊，臺架可采用木質或金屬。
面層的石粒應采用粒徑4mm~10mm的大理石、白云石或其他石料。拌和時不得混入金屬雜質。面層的水泥拌和料宜摻加一定比例的導電料。
各接地系統的設計都應符合等電位連接的要求，不同接地系統在接入等電位端子前不應混接。防靜電接地宜選擇聯合接地方式。
樹脂涂層自流平地面厚度不應小于2mm。樹脂涂層自流平地面結構應符合下列規定，基礎地坪、底涂層、導電層應符合本規范的規定。
由幾部分材料組合的防靜電制品，其內部構造應具有導靜電泄放的功能。其防靜電性能應由制品的表面電阻、對地電阻和摩擦起電電位等參數確定。
選用同位素靜電消除器時，應按現行國家標準《電離輻射防護與輻射源安全基本標準》GB 18871的有關規定進行防護設計，并應符合對射線屏蔽、人體防護的要求。
選擇放大中性線的導線截面積，防靜電工作區中電子設備和設施的電源線、接地干線、信號線和通訊線分別敷設。
關于消除防靜電工作區局部超過規定靜電電位限值的工程措施，因不具有普遍性，在第9章專述。現行行業標準《防靜電工作區技術要求》GJB 3007將防靜電工作區的允許對地靜電電位絕對值按100V為界分為A、B二級。
當兩個以上的金屬結構相互絕緣時，主將各自的金屬結構進行間接地，或在其相互之間連接跨接線，并應接地。
水磨石面層磨光后可采用防靜電液體地板蠟罩面，移動式地墊應符合下列規定：移到式地墊可選用防靜電塑膠地墊和防靜電地毯。
也可按工藝要求進行防靜電處理，送、回風口和各種輸出、輸入品裝置與配管系統之間應有可靠的電氣連接，并應接地。
電源線宜遠離信號線通訊線，當不可避免時，應采取相應的屏蔽措施。電子設備和設施的工作電源插座和普通電器插座應分別設置。
導電表材料應采用表面電阻或體積電阻為2.5×104Ω~1.0×106Ω（不含1.0×106Ω）的材料。低起電材料應采用其表面上滾動摩擦后的帶電電壓絕對值不大于2000V的材料。
防靜電級別
適用場所
防靜電接地系統在接入大地前應設置總等電位接地端子板、樓層等電位接地端子板、防靜電接地端子板。
2.存在外部電磁干擾，必須對環境中的電子設備和設施提供最基本的防靜電保護的場所。
防靜電工作區應設置防靜電接地系統，防靜電工作區系統應由接地體、接地干線、接地支線、接地端子板、接地網格或閉合銅排環組成。
當場所的環境濕度能穩定在45%~65%時，可不做防靜電處理。防靜電工作區的門窗設計應符合規定，一、二級防靜電工作區應選用靜電耗散材料制作門或采用靜電耗散材料貼面。
場感應電流和磁場強度限值應符合現行國家標準《工業、科學和醫療（ISM）射頻設備 電磁騷擾特性 限值和測量方法》GB 4824的有關規定。
網格交叉點應錫焊或用導電粘結劑粘結。活動地板應符合下列規定：應合理選擇活動地板的材質和支撐方式。
進行系統綜合設計，達到使用要求、控制目標、影響因素、設計方案、對應措施、實現需求的總體設計目標。
表示有選擇，在一定條件下可以這樣做的，采用“可”。
表A 防靜電工作區設計分級標準適用場所舉例
頂棚和門表面等可選用低起電材料。選用靜電耗散材料的地面、墻面、柱面，應滿足本條第2款的技術指標；
防靜電工作區質量控制要素 quality control elements in electrostatic discharge protected area 決定室內靜電電位控制效果的主要環境因素。包括材料和構造形式、氣候和環境條件、接地、器材和器具的靜電性能、工藝流程、技術管理制度等。
一級
1.電子電路制造和測試的場所；
《防靜電地坪涂料通用規范》SJ/T 11294
易燃易爆環境應選用自感應式靜電消除器、高頻高壓型靜電消除器，以及具有防爆通風型結構的離子化靜電消除器。
靜電中和 electrostatic disspation 帶電體上的電荷與其內部或外部異性電荷的結合而使所帶靜電電荷部分或全部消失的現象。
室內靜電電位 inner electrostatic potential 在設定的區域環境內，任一物體對地的靜電電位差。
配置靜電放電敏感的電子儀器、設備和設施的應用場所，諸如各類電子信息機房，各類靜電放電敏感的電子儀器實驗室、監控室等。
涂料的耐磨性、附著強度和涂膜硬度尚應符合現行行來標準《防靜電地坪涂料通用規范》SJ/T 11294的有關規定。
靜電放電敏感（ESDS） electrostatic discharge sensi-tive 產品性能受靜電放電影響或損壞的敏感性，簡稱靜電敏感。
厚度不宜小于0.8mm，導電層接地金屬箔帶網格要求應符合規范，樹脂涂層自流平地面各層結構的凝膠材料為同一性能的樹脂涂料。
防靜電安全工作臺可用于制造和應用靜電敏感元器件的場所。靜電敏感元器件、組件及設備的操作。
《工業金屬管道設計規范》GB 50316
GB50343的有關規定，特定行業、特定地面及設施的防雷接地尚應符合國家現行有關標準的規定。防靜電工作區頂棚、墻面、地面的防靜電接地、人體防靜電接地、操作裝置和儀器的防靜電接地。
靜電危害 electrostatic harm 因靜電放電產生的電磁輻射或靜電感應而對電子元器件及儀器產生的有害影響。
二級防靜電工作區的建筑外層有采光窗時，應設計為雙層，其內層窗應符合規定。門窗與墻體周邊應選用具有靜電耗散性能的彈性密封材料填嵌。
芯片封裝：劃片、粘片、鍵合，封裝，測試等工序；
防靜電工作區室內設計不得選用短效型防靜電材料及制品。室內防靜電地面設計應符合下列規定：應根據不同的基礎條件及防靜電目標合理選擇地面各類。
《防靜電活動地板通用規范》SJ/T 10796
靜電噪聲 electrostatic noise 由于靜電放電產生的電磁波輻射對電子裝置、通信設施等產生的電磁干擾。
嚴禁使用未經表面改性處理的高分子絕緣材料。不宜使用強吸濕性材料。各類裝修設計的飾面應平整簡潔，不宜過于復雜。
摩擦起電電壓 triboelectric voltage 用摩擦方法使物體帶電的表面對地電位差。
防靜電材料及制品的基本要求和設計選擇，防靜電工作區采用的防靜電工程材料應符合下列規定：靜電屏蔽材料應采用表面電阻或體積電阻小于1.0×103Ω的材料。
接地grounding 電氣連接到能供給或接受大量電荷的大地、艦船或運載工具外殼等物體的措施。
選用離子化靜電消除器時，臭氧發生量的容許濃度值應符合國家現行有關工業場所有害因素職業接觸限值的規定。
其性能要求應符合本規范的規定，活動地板及其配件的材質和技術性能指標應符合現行行業標準《防靜電活動地板通用規范》SJ/T 10796有的關規定。
應選用離子化靜電消除器，離子化靜電消除器的設計選擇應根據現場條件和消除靜電的控制目標，并結合靜電消除器的消電效能和綜合性能確定。
靜電泄漏 electrostatic leakage 帶電體上的電荷通過其內部或表面等途徑使之部分或全部消失的現象。亦稱靜電泄放。
金屬骨架應接地，接地連接點設置每個房間不應少于4處，相鄰連接點之間距離不應大于18m。頂棚和墻、柱面裝飾的罩面板應選用導靜電型、靜電耗散型材料。
應根據工藝要求和試驗確定，使用導靜電無機板材時，表面不應另覆涂層；表層使用金屬面板時，應具有靜電耗散性能的防靜電面層。
三級防靜電工作區的地面、墻面、柱面視工藝技術要求可選用靜電耗散材料或低起電材料。
防靜電地毯宜為三層結構，底層應為靜電耗散型基材，中間應為導電膠，上層應為由導電纖維編織或植絨的靜電耗散型材料。
《建筑物防雷設計規范》GB 50057
采取相應抑制諧波干擾的措施，防靜電工作區電源進線浪涌保護器的設置，應符合現行國家標準《《建筑物電子信息系統防雷技術規范》GB 50343 的有關規定。
防靜電接地電阻 electrostatic grounding resistancce 從防靜電對象接地連接點至接地體，包括接地支線、接地干線和接地體電阻的總和。
條文中指明應按其他有關標準執行的寫法為：應符合......的規定或按.......的執行。
導電粘膠的電阻值應小于面層材料的電阻值，面層應符合本規范第3.2.1規定。接地金屬箔帶網格宜適用寬10mm~20mm、厚0.03mm~0.10mm的紫銅箔帶。
防靜電塑膠地墊下應敷設接地金屬網，并應可靠接地。防靜電工作區內防靜電塑膠地墊面層應選用長效型防靜電材料。
屏蔽 shielding 把帶電體或非帶電體置于接地的封閉或近乎封閉的金屬外殼或金屬柵網內，限制靜電場穿過的措施。
各種專用電源設備應靠近由其供電的電子設備。防靜電工作區供配電系統設計宜根據供電電網的電源質量，以及系統內可能產生的瞬變干擾和脈沖干擾。
選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚和門表面等，應滿足摩擦起電電壓絕對值不大于1000V的要求。
應根據防靜電工作區構成因素和不同的防靜電工作區使用要求，選擇經濟和有效的設計方案。
間接接地indirect grounding 為使非金屬物體進行靜電接地，將其表面的全部或局部與接地的金屬體緊密接觸的一種接地方式。
防靜電工作區 （EPA） electrostatic discharge protec-ted area 配備各種防靜電設備和器材、能限制靜電電位、具有確定邊界、適于人事靜電防護操作的特定工作環境。
靜電接地 electrostatic grounding 將金屬導體通過接地極與大地進行電氣上的連接，將靜電電荷安全傳導到地的措施。
電子工業領域的某些場所有較高的潔凈環境要求，靜電的存在會影響潔凈設施的效能，同時潔凈環境的高速氣流會產生較嚴重的靜電。
本規范用詞說明：為便于在執行本規范條文時區別對待，對要求嚴格程度不同的用詞說明如下：表示很嚴格，非這樣做不可的：正面詞采用“必須”，反面詞采用“嚴禁”；
因此潔凈環境的設計亦應設定靜電控制的預期目標，并按本規范的規定執行。本條提出了防靜電工作區設計應遵循的幾條原則：根據使用要求，確定控制目標，選擇防靜電等級；
防靜電材料及制品的其他各項性能尚應符合國家和行業現行有關標準的規定。防靜電材料及制品的設計選擇，室內防靜電工作區應根據設計分級，選用不同性能的防靜電材料及制品，并應符合下列規定。
防靜電工作區設計應遵循下列原則：應根據工藝配置的技術要求，預估工作區靜電控制的期望目標，確定靜電電位控制的目標值。
活動地板按支撐方式可分為四周支撐式活動地板和四角支撐式活動地板。四周支撐式活動地板可由地板、可調支撐、橫梁、緩沖墊等組成；
在防靜電工作區內應設置防靜電接地端子板、接地網格，或截面積不小于100mm2的閉合接地銅排環。
共性能要求應合適規范規定，一級防靜電工作區的墻、柱面應設置導電層；二級防靜電工作區的墻、柱面不設置導電層時，應涂刷防靜電涂層或裝飾靜電耗散層。
離子化靜電消除器的離子平衡度、消電時間、臭氧發生量、噪聲等技術指標應符合國家現行有關產品標準的規定。
防靜電安全工作臺應由工作臺、防靜電臺面或臺墊、腕帶連接裝置、限流電阻和接地引線組成。防靜電安全工作臺按臺面基材可分為普通型和專用型。
芯片制造：氧化、擴散、清洗、刻蝕、薄膜、離子注入、CMP，光刻，外延，在線檢測，設備區等工序和場所；
接地連接點 earth bonding point 接地對象上的一個專用點，此點應被一根接地引線引接到接地線配置系統。
離子化靜電消除器的設計選擇應符合下列規定：氣流組織形式為單向流的潔凈空調系統，宜選擇脈沖式高壓靜電消除器。
表面電阻率 surface resistivity 沿試樣表面電流方向的直流電場強度與單位長度的表面傳導電流線密度之比。
其性能符合靜電耗散材料的指標要求，空氣潔凈度5級以上潔凈環境或嚴格限制靜電吸附場所的頂棚和墻、柱罩面層的靜電耗散指標。
三級
1.除上述范圍以外的電子元器件和整機的組裝調試場所。
并應采用十字形構造銅箔或設置多點間接接地的接點，當頂棚和墻、柱面裝飾設置基層骨架時應選用金屬材料。
《電磁兼容 試驗和測量技術 靜電放電抗擾度試驗》GB/T 17626.2
四角支撐式活動地板可由地板、可調支撐和緩沖墊等組成，活動地板的防靜電貼面板應選用導靜電型、靜電耗散型材料。