超聲
傳感器、電容傳感器、磁傳感器一般統稱為UCM傳感器，該類傳感器目前已經非常普及，在水處理、石油、化工、化學、
汽車等領域已具有了成熟的市場。但據有關市場研究表明， UCM傳感器在半導體生產設備（SEM）方面目前尚處于早期發展階段。 SEM主要用于半導體產品生產、裝配和性能測試，是一個資本密集的全球性行業。隨著半導體技術的迅速發展，對SEM提出了更高的要求，促使其加快技術的進步與更新以適應時代的需求，所以該行業有望成為UCM傳感器的主要市場。目前，UCM傳感器在半導體行業的應用還是比較有限的，但其銷售額卻持續增長。2000年UCM傳感器在SEM領域的總銷售額為1.249億美元，年增長率為6.9%，2001年達到了1.443億美元，年增長速度達到了7.1%。預計到2007年7.1%的年增長率將會保持，且隨著UCM傳感器價格的下降，其需求量還會增加。 UCM傳感器主要包括基于超聲原理的流量傳感器、物位傳感器和位置傳感器，電容式的接近傳感器、位置傳感器和壓力傳感器，基于磁學原理的位置和流量傳感器。由于價格昂貴，尤其是超聲流量計和電磁流量計，使UCM在SEM領域的應用受到了限制。然而，隨著半導體生產商不斷引進新的技術，這些傳感器將會有更廣泛的應用。有關專家也分析了幾種不利于市場發展的因素。首先，半導體企業已經開始自己生產傳感裝置，并趨向于向數字化技術和電子技術方向發展。其次，傳感器市場的國際化也使傳感器生產向國際化發展，最后，傳感器技術還無法滿足半導體行業嚴格的生產標準。技術的革新對UCM傳感器的銷量增長起著巨大的作用。例如目前最新型的MEMS傳感器-超聲MEMS傳感器已研制成功，它采用硅基超聲傳感技術，既經濟又實用，代表了超聲傳感器技術的發展前沿。與原有的超聲傳感器相比，MEMS超聲傳感器在性能方面有了質的提高，而在價格方面卻有了一定量的下降，很好地滿足了高性能、低價格的大量應用的需求。半導體生產商越來越需要高精度、高靜壓與高智能的測試設備，傳感器生產商也正在努力滿足這方面的需要，當前有向數字輸出與界面化發展的趨勢。如在磁性傳感器領域較為重要的進展就是其智能化單片集成系統。在主板上設置內存最主要的優點是可以使霍爾位置傳感器生產商制作出更多更好的智能傳感器。SMART技術在超聲與電容傳感器方面也同樣越來越重要。 2000年超聲傳感器在SEM領域的年銷售額達到了2860萬美元。流量測量方面，多普勒超聲流量計更多地應用于較臟的環境中，半導體生產的超凈環境傾向于選用傳統的計時流量計。超聲物位傳感器是一種利用聲波的非接觸式測量系統，而超聲接近傳感器則是通過激發壓電信號產生聲波，檢測目標物是否存在或測量到目標物的距離。超聲傳感器隨著精度的不斷提高，銷售量也在提升，但是巨額開發成本也在一定程度上阻礙了市場的擴張。 2000年電容式傳感器在SEM市場的銷售額達到了3200萬美元，這其中主要包括電容式位置傳感器、接近傳感器和壓力傳感器。非接觸式位置傳感器具有較高的分辨率且比較牢固耐用。接近傳感器在探測非金屬目標的場合是理想的選擇。壓力傳感器價格昂貴，市場進展小，對SME作用不大，但隨著智能技術的介入，對其需求也將越來越大。驅動電容傳感器銷售的主要因素是其生產成本低、體積小和技術新，但其昂貴的價格限制了銷售量，而且技術競爭也削減了利潤率。 2000年磁傳感器在SME領域的銷售額達6290萬美元。電磁傳感器市場千變萬化，與SME有關的傳感器有霍爾元件、磁阻和電磁流量計，這些都是低價的傳感器，有逐漸取代傳統產品的趨勢。高精度 Smart傳感器也推動了它們在非接觸傳感器方面的應用，但其對傳導率的較高要求則阻礙了其發展。總之，在SME領域，電容傳感器已處于相對成熟階段，而其它傳感器由于宣傳少，用戶對其優點知之甚少，目前還處于發展階段。