我國在科技部、國家自然基金委，教育部和總裝備部的資助下，一直在跟蹤國外的微型機械研究，積極開展MEMS的研究。現有的微電子設備和同步加速器為微系統提供了基本條件，微細驅動器和微型
機器人的開發早已列入國家863高技術計劃及攀登計劃B中。已有近40個研究小組，取得了以下一些研究成果。廣東工業大學與日本筑波大學合作，開展了生物和醫用微型機器人的研究，已研制出一維、二維聯動壓電陶瓷驅動器，其位移范圍為10μm×10μm；位移分辨率為0.01μm，精度為0.1μm，正在研制6自由度微型機器人；長春光學精密機器研究所研制出直徑為Φ3mm的壓電電機、電磁電機、微測試儀器和微操作系統。上海
冶金研究所研制出了微電機、多晶硅梁結構、微泵與閥。上海
交通大學研制出Φ2mm的電磁電機，南開大學開展了微型機器人控制技術的研究等。 我國有很多機構對多種微型機械加工的方法開展了相應的研究，已奠定了一定的加工基礎，能進行硅平面加工和體硅加工、LIGA加工、微細電火花加工及立體光刻造型法加工等。