美國維易科開發出對材料機械特性進行nm級別分析的技術
發布時間：2008-06-28
來源：中國自動化網
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美國維易科精密儀器（Veeco Instruments）發布了對材料的機械特性進行nm級別分析的技術“HarmoniX”。該技術對原子力顯微鏡（atomic force microscope:AFM）所用探針的支撐懸臂梁受到的力，通過獨創的算法進行分析，可同時實時地分析材料的彈性率、附著性、剝離性等物性。
當專用探針（見照片）與材料接觸時，可測定支撐該探針的MEMS懸臂梁的扭曲及撓曲量。根據測定值，實時計算出各種機械特性，并繪制出相應的數據圖。與以往的測定等相比，可快速顯示分析結果
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