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          國內300mmIC生產線自動物料搬運系統研發成功

          發布時間:2015-02-27 來源:中國自動化網 類型:行業資訊 人瀏覽
          關鍵字:

          系統 物料搬運

          導  讀:

          由沈陽新松機器人自動化股份有限公司承擔的“300mmIC生產線自動物料搬運系統研發與應用”項目在沈陽通過了國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備與成套工藝”實施管理辦公室組織的驗收,標志著國內首套應用于300mmIC生產線自動物料搬運系統研制成功。

          由沈陽新松機器人自動化股份有限公司承擔的“300mmIC生產線自動物料搬運系統研發與應用”項目在沈陽通過了國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備與成套工藝”實施管理辦公室組織的驗收,標志著國內首套應用于300mmIC生產線自動物料搬運系統研制成功。

          該項目由新松公司聯合中科院沈陽自動化所、上海集成電路研發中心有限公司等研究院所和企業進行技術攻關,完成了物料控制系統軟件、潔凈天車、天井式搬運車、潔凈立庫等核心設備的開發,并完成了自動物料搬運系統的示范應用,實現了潔凈物料傳輸系統裝備的國產化,項目合同期內完成了自動物料搬運生產線5條,實現銷售收入1.44億元。

          該系統的研制成功打破了國外集成電路裝備企業在國內的壟斷地位,降低了晶圓制造企業生產成本,加速了我國裝備制造業的轉型升級。

           

           


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