半導體晶圓的精準夾取與計數 | 堡盟OHDM 16光電傳感器

堡盟OHDM 16光電傳感器在該應用中很好的發揮了做用，它采用了漫反射和背景抑制性的原理，采用激光對晶圓的邊緣進行定位。它的定位精準，晶圓的厚度非常薄，約為0.1~0.8mm，且邊緣為弧形，較為光亮，但這些條件都不會影響它的精準定位。

產品特點：

它的晶圓定位版本可以用于晶圓邊緣的側面檢測。

大感應范圍感應距離Tw 123 … 143 mm||感應距離不可調。

采用了堅硬金屬外殼，因此也更加堅固耐用。

它擁有更好的重復精度，重復精度在激光焦點處< 0,1 mm，夾取的反復動作更加精確，可靠。

它采用了2級線激光對晶圓進行測試，擁有很好的穩定性，并且線光斑對于高反光表面性能較好，不存在反光無法測量等狀況。

它擁有很好的帶背景抑制功能，對位置控制較為穩定。