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光纖傳感器應用：晶圓片槽口的定位

發布時間：2009-09-15 09:24　　　類型：應用案例　　　人瀏覽

光纖傳感器應用：晶圓片槽口的定位

點的直徑0.1mm，極小，也可以進行槽口的高精度定位

數字光纖單元：FF-20

型號：FFTS-310

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