硬件故障檢查過程因故障類型而異，以下所述方法無先后次序之分，可穿插進行，綜合分析，逐個排除。
1)觀檢查系統發生故障后，首先進行外觀檢查。運用自己的感官感受判斷明顯的故障，有針對性地檢查有懷疑部分的元器件，看空氣斷路器、繼電器是否脫扣，繼電器是否有跳閘現象，熔絲是否熔斷，印制電路板上有無元件破損、斷裂、過熱，連接導線是否斷裂、劃傷，插接件是否脫落等；若有檢修過的電路板，還得檢查開關位置、電位器設定、短路棒選擇、線路更改是否與原來狀態相符；沈陽第一機床廠注意觀察故障出現時的噪聲、振動、焦糊味、異常發熱、冷卻風扇是否轉動正常等。
2)連接電纜、連接線檢查針對故障有關部分，用一些簡單的維修工具檢查各連接線、電纜是否正常。尤其注意檢查機械運動部位的接線及電纜，這些部位的接線易因受力、疲勞而斷裂。
3)連接端廈接插件檢查針對故障有關部位，檢查接線端子、單元接插件。這些部件容易松動、發熱、氧化、電化腐蝕而斷線或接觸不良。
4)惡劣環境下工作的元器件檢查針對故障有關部位，檢查在惡劣環境下工作的元器件。這些元器件容易受熱、受潮、受振動、粘灰塵或油污而失效或老化，受冷卻水及油污染，光柵標尺柵和指示柵都變臟。沈陽第一機床廠清洗后，故障消失。
5)易損部住的元器件檢查元器件易損部位應按規定定期檢查。沈陽第一機床廠直流伺服電動機電樞電刷及換向器，測速發電機電刷及換向器都容易磨損及粘污物，前者造成轉速下降，后者造成轉速不穩。沈陽第一機床廠紙帶閱讀機光電讀人部件光學元件透明度降低，發光元件及光敏元件老化都會造成讀帶出錯。
6)定期保養的部件廈元器件的檢查有些部件、元器件按規定應及時清洗潤滑，否則容易出現故障。冷卻風扇如果不及時清洗風道等處，則易造成過負荷。沈陽第一機床廠如果不及時檢查軸承，則在軸承潤滑不良時，易遭~成通電后轉不動。
7)電源電壓檢查電源電壓正常是機床控制系統正常工作的必要條件，電源電壓不正常，一般會造成故障停機，有時還造成控制系統動作紊亂。沈陽第一機床廠硬件故障出現后，檢查電源電壓不可忽視。檢查步驟可參考調試說明，方法是從前（電源側）向后地檢查各種電源電壓。應注意到電源組功耗大、易發熱，容易出故障。沈陽第一機床廠多數情況電源故障是由負載引起，因此，更應在仔細檢查后繼環節后再進行處理。沈陽第一機床廠檢查電源時，不僅要檢查電源自身饋電線路，還應檢查由它饋電的無電源部分是否獲得了正常的電壓；不僅要注意到正常時的供電狀態，還要注意到故障發生時電源酌瞬時變化。