RFID在晶圓搬運機中的智能化實踐
應用背景
在半導體制造行業，晶圓搬運是一個至關重要的環節，它不僅影響生產效率，還直接關系到產品的質量和成本。在如今的多品種少量生產中，要保障生產效率和品質，工序管理至關重要。其中最有效的手段之一，就是通過RFID方式，用CIDRW頭從CID載體中讀寫每個FOUP的信息，把握并追蹤工序進度。RFID方式具有出色的讀寫可靠性和耐環境性，在生產效率的維持和耐清洗性需求較高的半導體制造車間，有廣泛的應用
應用方案
RFID技術是一種利用無線電波進行非接觸式雙向通信以達到識別目標物體的目的的技術。它由RFID標簽、讀寫器和天線組成。RFID標簽可以貼附在物品上，存儲有關物品的信息，而讀寫器則可以通過無線信號讀取或寫入這些信息。相比于傳統條形碼技術，RFID技術具有識別速度快、讀取范圍廣、可穿透非金屬材料等特點。
通過將RFID標簽安裝在晶圓盒上，將晶圓盒存儲晶圓的身份信息和其他關鍵數據與RFID標簽綁定，然后可以通過RFID讀卡器讀取標簽內部消息；通過RFID系統實現在整個工廠范圍內實時追蹤晶圓的位置，也可由搬運機通過讀取RFID標簽，自動識別晶圓的狀態（如是否完成某道工序），并據此做出下一步操作的決策。
應用產品
CK-S650-PA60E是一款基于射頻識別技術的低頻RFID標簽讀卡器，讀卡器工作頻率134.2kHz。該讀卡器支持標準工業半導體HSMS、Modbus TCP協議,同時還支持1和N協議，方便用戶應用到半導體加工控制器或PLC等系統中。設備外置了三個模式開關選擇器，方便用戶直接設置工作模式、通信速率以及設備地址。讀卡器內部集成了射頻部分通信協議，用戶只需通過以太網通信接口發送接收數據便可完成標簽的讀取操作，無需理解復雜的射頻通信協議
