在2年前尼康向ASML以及其合作伙伴蔡司發起法律訴訟，指二者在未經尼康允許將尼康專利用于旗下光刻機，扯皮兩年多后，三方總算達成和解。
在2017年4月24日，尼康向ASML以及其合作伙伴蔡司發起法律訴訟，指二者未經尼康允許將尼康專利用在ASML的光刻機當中，要求二者賠償尼康損失，并停制出售具有該技術的光刻機。ASML隨后否認了尼康的指控，并在幾天后起訴尼康，指后者在半導體生產設備、平面顯示器和數碼相機生產設備存在超過10項專利侵權，雙方進入扯皮階段。
在尼康起訴時ASML正如日中天，在高端光刻機市場份額超過9成，尼康則在光刻機市場節節敗退。只是風水流水，尼康在向中國市場出售光刻機后重振了業務，ASML在EUV 極紫外光技術上舉步維艱，Intel甚至出售了ASML股票。在這樣的背景下，三者終于達成了和解，按照三方諒解備忘錄，會撤銷在歐洲、日本和美國多地所有法律訴訟，ASML、蔡司向尼康支付1.5億歐元，從最終協議簽署當天起，尼康與ASML交換未來十年0.8%沉浸式光刻銷售收入。