企業(yè)類型：研究院所 所在地：北京市 相關(guān)產(chǎn)品分類：IGCT,GTR,IGBT,二極管,GTO,可控硅,雙向可控硅,功率模塊,晶體管,電容,電阻,IC器件,磁性器件,PCB,其它,三極管
中國科學(xué)院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組(http://www.rf-power.net)從1984年開始研發(fā)電子管射頻電源(13.56MHz)，1985年研制成功，獲得“六五”攻關(guān)榮譽證書以及“FD-2反應(yīng)離子刻蝕機與超精細刻蝕研究”項目二等獎。從2010年開始受到極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項（國家02重大專項）資金支持，研發(fā)晶體管射頻電源，2011年研發(fā)成功300W-3000W晶體管射頻電源(13.56MHz)，獲得第七屆國際發(fā)明展覽會銀獎與第七屆北京發(fā)明創(chuàng)新大賽金獎。經(jīng)過二十多年的發(fā)展完善，產(chǎn)品的性能不斷提高，規(guī)格齊全,年銷售電子管與晶體管射…