SS-II系列直流磁控濺射電源技術規格

                       SS-II系列直流磁控濺射電源技術規格

SS-II系列磁控濺射電源工作于高頻變換模式，直流輸出,電源電流調整通過改變高頻變換的脈沖寬度來實現。電源具有良好的負載特性，性價比高，適用于金屬及部分反應膜層環境使用。

電源功率范圍

10-120KW

輸入電源

AC380V三相四線制 50-60HZ±10％

輸出方式

直流

輸出電壓

空載800V

滅弧時間

≤20uS

輸出電流穩定率

0.5％

冷卻方式

10-60KW風冷 60-120KW水冷

使用環境

環境溫度 0-40℃

環境濕度 相對濕度≤85％

空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風良好

冷卻水

清潔 不含礦物質及其他可溶性物質

水溫 20-30℃

壓力 0.15±0.05Mpa

通訊方式

模擬/RS485/RS232

說明：電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整