企業(yè)類型：研究院所 所在地：北京市 相關(guān)產(chǎn)品分類：IGCT,GTR,IGBT,二極管,GTO,可控硅,雙向可控硅,功率模塊,晶體管,電容,電阻,IC器件,磁性器件,PCB,其它,三極管
中國(guó)科學(xué)院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組(http://www.rf-power.net)從1984年開(kāi)始研發(fā)電子管射頻電源(13.56MHz)，1985年研制成功，獲得“六五”攻關(guān)榮譽(yù)證書(shū)以及“FD-2反應(yīng)離子刻蝕機(jī)與超精細(xì)刻蝕研究”項(xiàng)目二等獎(jiǎng)。從2010年開(kāi)始受到極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(xiàng)（國(guó)家02重大專項(xiàng)）資金支持，研發(fā)晶體管射頻電源，2011年研發(fā)成功300W-3000W晶體管射頻電源(13.56MHz)，獲得第七屆國(guó)際發(fā)明展覽會(huì)銀獎(jiǎng)與第七屆北京發(fā)明創(chuàng)新大賽金獎(jiǎng)。經(jīng)過(guò)二十多年的發(fā)展完善，產(chǎn)品的性能不斷提高，規(guī)格齊全,年銷售電子管與晶體管射…