企業類型:研究院所 所在地:北京市 相關產品分類:IGCT,GTR,IGBT,二極管,GTO,可控硅,雙向可控硅,功率模塊,晶體管,電容,電阻,IC器件,磁性器件,PCB,其它,三極管
中國科學院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組(http://www.rf-power.net)從1984年開始研發電子管射頻電源(13.56MHz),1985年研制成功,獲得“六五”攻關榮譽證書以及“FD-2反應離子刻蝕機與超精細刻蝕研究”項目二等獎。從2010年開始受到極大規模集成電路制造裝備與成套工藝專項(國家02重大專項)資金支持,研發晶體管射頻電源,2011年研發成功300W-3000W晶體管射頻電源(13.56MHz),獲得第七屆國際發明展覽會銀獎與第七屆北京發明創新大賽金獎。經過二十多年的發展完善,產品的性能不斷提高,規格齊全,年銷售電子管與晶體管射…