設(shè)備功能介紹：
本設(shè)備主要用于晶體硅太陽能電池制造中硅片的擴散摻雜。擴散是半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)中的一種關(guān)鍵工藝，通過擴散所形成的PN結(jié)，就是晶體硅太陽能電池的核心。
應(yīng)用產(chǎn)品型號：
MSST10-Q-RN、23HS3002-29、STM23S-3RE、23HS3811-04
產(chǎn)品應(yīng)用介紹：
熱擴散爐用2個MSST10-Q-RN、2個23HS3002-29；
（PECVD用1個STM23S-3RE、1個MSST10-Q-RN、1個23HS3811-04）
步進電機用于驅(qū)動圖中四個黑框里的模塊上下、前后移動，一個電機裝在模塊上，通過變速箱+絲杠帶動模塊做上下運動，一個電機通過皮帶+滾珠絲杠帶動模塊水平運動。
設(shè)備中共有四個工控機，每個工控機控制兩個驅(qū)動器（一個模塊）。
目的是送料進入爐中，或從爐中取料出來。
應(yīng)用環(huán)境參數(shù)：
負載：同步帶負載，長度3米。
上位機：研祥工控機，
控制模式：主機控制模式，SCL語言編程，客戶自己編寫程序；RS485通訊，兩軸控制，無需插補運動；正反轉(zhuǎn)限位提供機械保護；
電源：24V開關(guān)電源；
細分：20000 step/rev；
速度：300rpm；
動作，低速往復(fù)運動，運行10分鐘，靜止1小時。
客戶選用的原因：
主機編程控制，實現(xiàn)全數(shù)字化控制，抗干擾能力強。
