應用介紹
設備主體機構為龍門雙驅，龍門長度2m、跨度1m，一共配備12個軸的運動控制，其中7個軸為點到點移動，另外5個軸為脈沖控制，結構設計分為兩端，每端各有2軸，其中1軸橫跨，同步運動進行晶圓搬運。
課題
1、當前的控制周期長，無法進行高精度的指令運算，導致龍門控制精度難以提升。
2、當前系統由多個控制器構成，難以實現高度的同步控制。
3、當前控制系統僅支持專用語言，其他功能難以實現；且內部處理為黑盒，客戶無法自定義。
解決方案
1、高速控制周期實現更高精度的加工
歐姆龍可編程多軸運動控制器CK3M/CK5M系列，通過控制周期25μs / 5軸的超高速伺服周期運算，能夠以超高速的控制周期進行順暢的指令運算，實現理想的軌跡。
只要存在高精度的指令，即可通過追蹤指令，實現高精度的運動控制。通過高速接收并補償反饋值，實現更接近指令值的軌跡控制。
2、支持不同接口，實現理想設備構成
輸入接口支持A/B相信號、正弦波信號、串行數據I/F，而控制指令接口也支持模擬指令（DAC）、基于Direct PWM*2的軸控制。該系統可連接高精度的標尺、精密的直線電機、高精度的掃描振鏡等，能自由選擇適合客戶應用的設備構成。還能通過各執行器之間的高精度同步控制實現高精度的加工。
3、高自由度的開發實現各種各樣的應用
使用PMAC專用腳本語言，可對客戶自有的復雜、高級算法進行編程。還支持C語言，可輕松實現非常復雜的算法和處理控制器內的日志文件等普通控制器難以實現的功能。此外，通過定義子程序，不僅可以自定義標準G代碼，還能實現具有客戶專屬功能的G代碼。
內部處理為白盒，可在客戶端進行自定義加工數據坐標系和執行器機械坐標系的關系，輕松實現需要復雜執行器機構的應用，（例如：機器人機構和On the Fly激光加工等）。
實現價值
1、龍門速度：2m/s
2、定位精度：10μs
3、晶圓搬運同步精度：5μs
客戶的心聲
通過25μs / 5軸的超高速伺服周期運算，實現高精度的指令運算和高精度的指令追蹤，使設備達到更高性能，打造核心競爭力。另外，通過支持不同執行器 / 標尺的接口和控制模式，可以擺脫外圍設備的限制，靈活應對當前多供應商的設備構成。對于工程師而言，內置PMAC架構可進行高自由度的開發，通過高自由度的軟件結構輕松構建客戶自有算法，并實現以往難以實現的應用。
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