對(duì)強(qiáng)腐蝕性有機(jī)溶劑進(jìn)行液位檢測(cè)的方案
【行業(yè)】SEMI
【設(shè)備】清洗機(jī)/CDS/SDS
【用途】去除晶圓表面的顆粒污染物、氧化層等
對(duì)儲(chǔ)液罐(tank)的液位進(jìn)行檢查。
部分有機(jī)溶液(氫氟酸)具有腐蝕性,無(wú)法使用透明玻璃管顯示液位。
核心產(chǎn)品
光纖傳感器E32-D82F1(接液型)
光纖放大器E3NX-FA
■ 接液型光纖傳感器可部署于儲(chǔ)液罐(tank)內(nèi)直接接觸液體測(cè)量
■ 200℃的耐熱性并有氟樹(shù)脂涂層,耐化學(xué)性強(qiáng),滿足清洗槽溫度和腐蝕要求,實(shí)現(xiàn)對(duì)有機(jī)溶液的液位檢測(cè)
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