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          多干擾場景下的液位檢測優化方案

          發布時間:2025-08-06 17:20   類型:應用案例   人瀏覽

          應用介紹



          【行業】SEMI

          【設備】清洗機/CDS/SDS

          【用途】去除晶圓表面的顆粒污染物、氧化層等

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          應用場景


          通過側窗導管顯示液位的情況,并對液位進行限制。

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          解決課題


          ■ 氣泡、水滴等干擾因素會影響液位檢測

          ■ 有機溶液的結晶化會影響檢測

          價值提案


          核心產品
          光纖傳感器E32-D36T(卡管型)
          光纖放大器E3NX-FA

           備有矩陣型檢測光纖,不易受氣泡、水滴等干擾因素的影響,實現穩定檢測

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           配合E3NX-FA系列放大器的使用:

             (a) 配備DPC功能,快速消除短時間內溶液結晶化的檢測干擾

             (b) 配備外部觸發或重新示教功能,消除長時間溶液結晶化的干擾

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