多干擾場景下的液位檢測優化方案
發布時間:2025-08-06 17:20 類型:
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【行業】SEMI
【設備】清洗機/CDS/SDS
【用途】去除晶圓表面的顆粒污染物、氧化層等
■ 氣泡、水滴等干擾因素會影響液位檢測
■ 有機溶液的結晶化會影響檢測
核心產品
光纖傳感器E32-D36T(卡管型)
光纖放大器E3NX-FA
■ 備有矩陣型檢測光纖,不易受氣泡、水滴等干擾因素的影響,實現穩定檢測
(a) 配備DPC功能,快速消除短時間內溶液結晶化的檢測干擾
(b) 配備外部觸發或重新示教功能,消除長時間溶液結晶化的干擾
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