基于光纖傳感的液體有無狀態平等檢測方案
應用介紹
【行業】SEMI
【設備】清洗機/CDS/SDS
【用途】去除晶圓表面的顆粒污染物、氧化層等

應用場景
通過側窗導管顯示液位的情況,并對液位進行限制。

解決課題
■ 按照生產要求,需要至少對四個液位位置(上限位置、供給停止位置、供給開始位置、下限位置)進行判定。
■ 檢測液位上下限的要求不同。
價值提案
核心產品
光纖傳感器E32-E32-A01/A02(卡管型)
光纖放大器E3NX-FA
■ 小型卡管式安裝,快速部署四個液位位置的檢測。

■ 考慮到斷線時的安全,備有有液體狀態(A01)和無液體狀態(A02)下的入光兩種類型。


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