為實現高度數字化的社會，對半導體微細化/積層化的需求日益高漲，其生產流程也隨之逐漸復雜，因此溫度控制的重要性與日俱增。尤其是為了提高加工精度，需要實現更加精細的溫度控制。即使細微的溫度偏差和波動也會影響品質，因此必須詳細掌握溫度變化。此外，隨著設備性能提高，必須增加控制點數，另一方面，還必須滿足維持產能和減少設備占地面積的需求，在保障品質的同時縮減尺寸成為一大課題。

實現多點化溫控，同時維持設備小型化

根據溫度變化特征量及時捕捉設備運行時的狀態變化，以盡可能降低溫度波動，保障品質穩定

1、通過監視特征量數據的趨勢，檢測工件、設備、環境的變化

可通過判斷溫度變化特征量數據是否處于正常范圍內，捕捉設備狀態變化，提高產品合格率。

2、借助分辨率可達 0.01℃的溫度控制，最大程度降低溫度波動幅度

以往，為抑制溫度波動，需要多個加熱器，配置工作非常耗時。高精度溫控可以最大程度地抑制影響品質的溫度波動，從而維持生產效率。

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