EFEM多材質晶圓的凸出檢測方案

檢測cassette內wafer是否有凸出，防止自動取片時發生異常。

應對不同材質wafer的檢測需求，例如：Si、SiC、Ga2O3等。

核心產品：光纖傳感器 E32/E3NX-FA

配備自動調諧、以及APC&DPC自動投光&受光校正，方便快速對應各種透明度的wafer。