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在半導體制造的多個工藝環節中，包括刻蝕、鍍膜等等。為了提高半導體制造過程的精度和均勻性，半導體工藝必須在極度受控的真空環境中運行。而獲得真空環境所需的設備即為真空泵。今天要給大家介紹的是安川變頻器產品在真空泵設備中的應用。
伺服驅動系統 SINAMICS V90 伺服驅動和 SIMOTICS S-1FL6 伺服電機組成了 性能優化，易于使用的伺服驅動系統，八種驅動類型，七種 不同的電機軸高規格，功率范圍從0.05kW到7.0kW以及單 相和三相的供電系統使其可以廣泛用于各行各業，如：定 位，傳送，收卷等設備中，同時該伺服系統可以與S7-1500T/ S7-1500/S7-1200 進行完美配合實現豐富的運動控制功能。
深川變頻器在大型供熱站應用調試成功，供熱站的主要設備就是電機、泵與閥門，而這些設備的設計余量一般都比實際應用的大，因此電機水泵大多運行在中低負荷下，效率低、損耗大，而且供暖期間多用改變閥門調節控制流量，沒有任何節能效果。隨著供熱面積不斷增大，設備的自動化水平要求也逐步調高，通過變頻器來改變流量控制既提高了自動化水平，滿足了生產需要，又實現了節能效果，減少了閥門的損耗，從而增加了設備的使用壽命。
鋼鐵軋機設備技術 EM610應用的客戶收益 EM610內置恒張力控制邏輯，降低對PLC等外圍設備的要求 使用S輥電子同步應用技術使S輥速度共同作用，S1和S2速度同步，可替代使用單臺電機功率太大、機械結構復雜的缺點 利用變頻器本身整流單元，節省外置整流模塊；共直流母線應用，為客戶節約電費。解決客戶使用直流調速系統維護成本高問題 矢量控制方式，控制精度高。同時使用EM610變頻器驅動，能提高生產效率 EM610集成化電子同步功能，減少系統電氣配線，增強系統本身弱電信號抗干擾能力
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